B-4 : メタ分布視座に基づくプラズマプロセスイノベーション
Organizers:
Representative
| ･ 伊藤 剛仁 | 東京大学 |
Correspondence
| ･ 神原 淳 | 大阪大学 | [email protected] |
Organizers
| ･ 酒井 道 | 滋賀県立大学 |
| ･ 内田 儀一郎 | 名城大学 |
| ･ 田中 学 | 九州大学 |
| ･ 宗岡 均 | 東京大学 |
| ･ 松田 朋己 | 大阪大学 |
Scope:
プラズマプロセスに介在する多様な分布は，その分布の時空間的な相互作用の結果として材料が生み出され，材料特徴量・機能性の分布もこれら多様な分布の重畳の結果と関連付けられる。状態量の均一な存在確率を基本とする平衡プロセスから如何に適切に逸脱した状態分布へと制御できるかが，プロセス特徴量のトレードオフ関係から脱却しつつ目的の材料の構造･性能均質性に最短最小エネルギーで到達しうる，新規プロセスの実現に繋がると考えられる。この”メタ分布”の立場からプラズマプロセスを再考する機会として，本シンポジウムを提案する。
Topics:
・平衡/非平衡プラズマプロセス
・プラズマ計測
・ナノ粒子ナノ構造デバイス
・プラズマ状態記述学
・メタ分布