先端プラズマ技術が拓くナノマテリアルズフロンティア
Organizers:
Representative
| ･ 石川 健治 | 名古屋大学 |
Correspondence
| ･ 白谷 正治 | 九州大学 | [email protected] |
Co-Organizers
| ･ 石川 健治 | 名古屋大学 |
| ･ 井上 泰志 | 千葉工業大学 |
| ･ 金子 俊郎 | 東北大学 |
| ･ 金 載浩 | 産業技術総合研究所 |
| ･ 白谷 正治 | 九州大学 |
| ･ 節原 裕一 | 大阪大学 |
| ･ 寺嶋 和夫 | 東京大学 |
| ･ 林 信哉 | 九州大学 |
| ･ 荻野 明久 | 静岡大学 |
| ･ 古閑 一憲 | 九州大学 |
Scope:
プラズマプロセスは,微結晶Si,ナノ結晶ダイヤモンド,c-BN,カーボンナノチューブなどの機能性ナノ材料の合成,その大面積形成や生態模擬プロセスなどを実現する基幹技術である.最近では,大気圧非平衡プラズマが開発され,表面改質,機能性材料の超高速合成や医療・バイオへの応用が活発に研究されており,ナノマテリアルの新規形成技術として世界的に 注目を集めている.
本セッションでは,先端プラズマプロセ スにおけるサブ サーフェス反応の計測・制御,新機能ナノ材料の合成,ナノ構造制御法とナノ構造による新物性の発現に関する最新の成果を議論するとともに,大気圧非平衡プラズマによ る新機能性材料の高速合成技術,マイクロプラズマによる局所堆積技術からジャイアントエレクトロニクス用ナノ材料合成の量産技術に至るナノマテリアルズのフロンティアを総括する.
Topics:
1. グリーンテクノロジーのための先進プラズマプロセス
2. 機能性ナノ材料の作製とナノ構造制御
3. エネルギーと環境応用のためのプラズマプロセス
4. プラズマ医療と生体模倣ナノプロセス
5. プラズマと表面の先進計測
6. 堆積プロセス
7. エッチングプロセス
8. シミュレーションとデータベース